發(fā)貨地點(diǎn):江蘇省南京市
發(fā)布時(shí)間:2025-01-20
數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢功能為用戶帶來了極大的便利,提升了設(shè)備的使用體驗(yàn)和管理效率。數(shù)據(jù)自動生成曲線,就如同設(shè)備運(yùn)行的 “心電圖”,用戶通過曲線能直觀地看到設(shè)備運(yùn)行過程中溫濕度、壓力等參數(shù)隨時(shí)間的變化情況,便于及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常波動。數(shù)據(jù)自動保存,方便用戶進(jìn)行后續(xù)的數(shù)據(jù)分析和處理?蒲腥藛T可以通過分析歷史數(shù)據(jù),優(yōu)化實(shí)驗(yàn)方案;生產(chǎn)人員能夠依據(jù)數(shù)據(jù)找出設(shè)備運(yùn)行的參數(shù),提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。同時(shí),運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件同步記錄,查詢一目了然。一旦設(shè)備出現(xiàn)故障,用戶能迅速從記錄中獲取故障發(fā)生的時(shí)間、類型等信息,為快速排查和解決故障提供有力支持。高精密環(huán)控設(shè)備可移動,容易維護(hù)和擴(kuò)展。上海0.5℃環(huán)境
光刻設(shè)備對溫濕度的要求也極高,光源發(fā)出的光線需經(jīng)過一系列復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)聚焦到硅片表面特定區(qū)域,以實(shí)現(xiàn)對光刻膠的曝光,將設(shè)計(jì)好的電路圖案印制上去。當(dāng)環(huán)境溫度出現(xiàn)極其微小的波動,哪怕只是零點(diǎn)幾攝氏度的變化,光刻機(jī)內(nèi)部的精密光學(xué)元件就會因熱脹冷縮特性而產(chǎn)生細(xì)微的尺寸改變。這些光學(xué)元件包括鏡片、反射鏡等,它們的微小位移或形狀變化,會使得光路發(fā)生偏差。原本校準(zhǔn)、聚焦于硅片特定坐標(biāo)的光線,就可能因?yàn)楣饴返母淖兌x預(yù)定的曝光位置,出現(xiàn)曝光位置的漂移。浙江光學(xué)環(huán)境精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部溫度規(guī)格設(shè)定為 22.0 °C 且可靈活調(diào)節(jié),以滿足不同控溫需求。
在半導(dǎo)體芯片制造這一復(fù)雜且精細(xì)的領(lǐng)域,從芯片光刻、蝕刻到沉積、封裝等每一步,都對環(huán)境條件有著近乎嚴(yán)苛的要求,而精密環(huán)控柜憑借其性能成為保障生產(chǎn)的關(guān)鍵要素。芯片光刻環(huán)節(jié),光刻機(jī)對環(huán)境穩(wěn)定性要求極高。哪怕 0.002℃的溫度波動,都可能使光刻機(jī)內(nèi)部的精密光學(xué)元件因熱脹冷縮產(chǎn)生細(xì)微形變,導(dǎo)致光路偏差,使光刻圖案精度受損。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制,將溫度波動控制在極小范圍,確保光刻機(jī)高精度運(yùn)行,讓芯片光刻圖案正常呈現(xiàn)。
在科研與工業(yè)制造等眾多領(lǐng)域,光學(xué)儀器如激光干涉儀、光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡等,發(fā)揮著無可替代的關(guān)鍵作用,而它們對運(yùn)行環(huán)境的要求極為苛刻,尤其是溫濕度、潔凈度以及抗微震性能。精密環(huán)控柜的出現(xiàn),為這些精密儀器提供了理想的運(yùn)行環(huán)境。以激光干涉儀為例,其憑借納米級別的高精度測量能力,在諸多精密領(lǐng)域不可或缺。但它對溫度極度敏感,哪怕有 0.01℃的溫度波動,由于儀器主體與測量目標(biāo)熱脹冷縮程度的差異,會造成測量基線改變,致使測量位移結(jié)果出現(xiàn)偏差。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制,將溫度波動控制在極小范圍,有力保障了激光干涉儀測量的準(zhǔn)確性。為航天零部件檢測打造的專屬環(huán)境,滿足其對溫濕度、潔凈度近乎苛刻的要求。
在電極制備環(huán)節(jié),溫濕度的不穩(wěn)定會對電極材料的涂布均勻性造成極大干擾。溫度過高,涂布用的漿料黏度降低,流動性增強(qiáng),容易出現(xiàn)厚度不均的情況,這會使得電池在充放電過程中局部電流密度不一致,降低電池性能。濕度若偏高,漿料中的水分含量難以精細(xì)控制,水分過多不僅會改變漿料的化學(xué)性質(zhì),影響電極材料與集流體的附著力,還可能在后續(xù)干燥過程中引發(fā)氣泡,導(dǎo)致電極表面出現(xiàn)孔洞,增加電池內(nèi)阻,降低電池的能量密度和充放電效率。針對設(shè)備運(yùn)維,系統(tǒng)實(shí)時(shí)同步記錄運(yùn)行、故障狀態(tài),快速查詢回溯,準(zhǔn)確定位問題根源。山東精密加工環(huán)境
在生物制藥研發(fā)中,該設(shè)備能準(zhǔn)確調(diào)控環(huán)境,助力藥物成分穩(wěn)定,保障實(shí)驗(yàn)結(jié)果可靠。上海0.5℃環(huán)境
超高精度溫度控制是精密環(huán)控柜的一大突出亮點(diǎn)。其自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),使得控制輸出精度達(dá)到驚人的 0.1% ,這意味著對溫度的調(diào)控能夠精細(xì)到極小的范圍。設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性在關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK (靜態(tài)) ,無論外界環(huán)境如何變化,都能保證關(guān)鍵部位的溫度處于極其穩(wěn)定的狀態(tài)。內(nèi)部溫度規(guī)格可在 22.0°C (可調(diào)) ,滿足不同用戶對溫度的個性化需求。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ,確保柜內(nèi)各個角落的溫度幾乎一致,避免因溫度差異導(dǎo)致的實(shí)驗(yàn)誤差或產(chǎn)品質(zhì)量問題。再加上設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h ,以及壓力穩(wěn)定性可達(dá) +/-3Pa ,連續(xù)穩(wěn)定工作時(shí)間大于 144h ,為對溫濕度、壓力要求苛刻的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)提供了可靠的環(huán)境保障,讓長時(shí)間的科研實(shí)驗(yàn)和精密制造得以順利進(jìn)行。上海0.5℃環(huán)境