晶圓自動激光切割機/SA-IR20W-A（底相機對準）型，相比傳統(tǒng)機型增加自動上下料功能，主要為：增加底部相機、增加底部成像鏡頭、增加底部成像光源，可實現(xiàn)晶圓片底部對準，保留原有上相機功能，可實現(xiàn)正切和背切功能，增加自動取料，自動對位，自動下料功能。

技術(shù)規(guī)格                     項目                                   單位                              數(shù)值

對準方式                                                 底部對準，兼容頂部對準 

*大加工尺寸               承片臺                                   inch                             5英寸

*大切割深度               單晶硅                                  um                            ≤150微米

                                  激光器功率                             W                                20瓦

                                  激光器波長                             nm                             1064nm紅外

激光器                        重復(fù)頻率                                KHZ                             20千-80千赫茲

                                  切割線寬                                um                               40-60微米

切割參數(shù)                     切割速度                               mm/s                            150毫米每秒

工作臺承載方式           大理石                                   mm                               厚度100毫米

                                  電源                                       AC                               兩相220-240V50HZ

                                  *大耗電量                             KW                                2.0千瓦

                                  壓縮空氣供給壓力                   MPa                               0.5-0.8兆帕

其他規(guī)格                     排風(fēng)量（工廠自備）                 m3/min                           3立方每分鐘

                                 設(shè)備尺寸（W*D*H）                mm                               980*1270*1740毫米

                                 設(shè)備重量                                  kg                                   660千克

                                  排風(fēng)口口徑                              mm                                 50毫米

1）控制系統(tǒng)由*用PIC程序+電腦主機構(gòu)成，故障率低，可靠性高，操作簡單，易于維護。

2）切割傳動方式通過直線電機傳動，提高設(shè)備切割精度。

3）上下料傳動采用電機傳動。

4）上料采用感應(yīng)器檢測，無料，自動報警。

5）CCD自動對位。

6）收集盒方便取放。